新加坡实德科技有限公司北京办事处

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　　　　　　　　　　　产品应用

　　　　　　　　　　　　　　产品手册

　　　使用GS-126硼源片增加水分进化速率 　　

　　　硼源片的蚀刻终止运用　　　

　　　工艺参数 　　

　　　源的准备： 老化 　　

　　　载体设计 　　　　　　　　　　　　　　　　　　

　　　清洗硼源片 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

　　　清洗磷源片 　　

　　　环境气体 　　

　　　储存 　　　

　　　疑难解决

　　　　　　　　　　　工艺建议

　　 分离工艺建议－硼源片　　　

　　　发射器应用-硼源片　　

　　　蚀刻终止层工艺-硼源片　

　　　多晶硅栅工艺-磷源片　　

　　　发射器应用－磷源片